变异源分析培训

培训目标
学习变异源分析（SOV）的基础理论和分析路径
掌握变异源分析方法
提高实际生产和科研中变异源分析的能力
掌握如何在DMAIC的分析阶段合理使用变异源分析的方法
使用Minitab 来进行变异源分析，变得方便容易

课程大纲
变异源分析介绍
1.变异源研究的重要性
2.SOV 研究的目的
3.分解总的变异源
4.变异性研究的二个类型
5.SOV 与持续改进的关系
6.SOV 研究的优点与不足

Multi-vari 分析: SOV 的图形化方法
1.Multi-vari Analysis (MVA) 介绍
2.SOV 的主要属
3.变异属的例子
4.分解方差的模型
5.一个Wafer加工厂的过程分析例子
6.Multi-vari 分析
7.MVA 分析的角色
8.MVA 怎样实施
9.MVA 分析执行指引
10.利用Minitab创建一个Multi-vari Chart
11.嵌套与交叉因子及应用

过程 SOV 研究
1.方差分析 (A*VA)
2.利用Minitab进行方差分析 (A*VA)
3.SOV 的量化：
4.计算方差组成
5.均方和（Mean Squares）
6.生成一个菜单(Recipe)的 SOV
7.实例分析

测量系统的 SOV 分析（计量型）
1.定义基本的测量术语
2.略述进行计量型测量系统SOV研究的程序
3.进行练习来实践测量方法化
测量系统的SOV分析（计数型）
1.定义基本的测量术语
2.略述进行计数型测量系统SOV研究的程序
3.进行练习来实践测量方法化
4.Kappa技术
5.改善属性测量系统

A*VA
1.几个概念
2.单因子方差分析
3.两因子方差分析
相关性与回归分析
1.定义并计算相关系数
2.讨论相关性及因果关系
3.绘制并分析拟合直线图
4.介绍回归分析的基本知识
5.使用回归分析技术建立数学预测模型

SOV 案例分析
1.SOV Standard Format Report
2.变异来源分析报告：HAI 大角度离子注入机
3.Source of variation report: sac3 Vtp bad uniformity
4.SOV Report :HVNATVT Trend & PW Implanter Performance

变异源分析培训